Litograafia on tehnika kujundatud mustri otse või vahekandja kaudu tasasele pinnale ülekandmiseks, jättes välja pinna alad, mis ei vaja mustrit. Maski litograafias prinditakse kujundused substraadile ja eksponeeritakse alasernii et ladestunud materjal söövitatakse ära ja on valmis edasiseks töötlemiseks. Seda litograafiameetodit kasutatakse laialdaselt pooljuhtplaatide masstootmises. Võimalus projitseerida vahvlile väikestest objektidest teravaid pilte on piiratud kasutatava valguse lainepikkusega. Tänapäeva kõige arenenumates litograafiatööriistades kasutatakse sügavat ultraviolettvalgust (DUV) ja tulevikus jäävad need lainepikkused katma sügavat ultraviolettkiirgust (193 nm), vaakum-ultravioletti (157 nm ja 122 nm) ja äärmuslikku ultraviolettkiirgust (47 nm ja 13 nm). ). Komplekssed tooted ja sagedased disainimuudatused IC-, MEMS-i ja biomeditsiini turgudel – kus nõudlus erinevate funktsioonide ja substraadi suuruste järele kasvab – on suurendanud nende väga kohandatud lahenduste tootmiskulusid, vähendades samal ajal tootmismahtusid. Traditsioonilised maskipõhised (maski) litograafialahendused ei ole kulutõhusad ega praktilised paljudes sellistes rakendustes, kus suure hulga maskikomplektide kavandamiseks ja tootmiseks kuluv kulu ja aeg võivad kiiresti kasvada. Maskideta litograafiarakendusi ei takista aga vajadus ülilühikeste UV-lainepikkuste järele ja selle asemellaserallikad sinises ja UV-vahemikus. Maskideta litograafiaslaserloob otse mikro-/nanostruktuurid valgustundlike materjalide pinnale. See mitmekülgne litograafiameetod ei tugine maski kulumaterjalidele ja paigutust saab kiiresti muuta. Selle tulemusel muutub kiire prototüüpimine ja arendus lihtsamaks ning suurema disaini paindlikkusega, säilitades samal ajal suure katvuse eelised (nt 300 mm pooljuhtplaadid, lameekraanid või PCBS). Kiire tootmise nõuete täitmisekslaseridmaskideta litograafias kasutatavatel omadustel on sarnased maskide puhul kasutatavate omadustega: Pidevlaine valgusallikal on pikaajaline võimsuse ja lainepikkuse stabiilsus, kitsas joone laius ja väike maski muutus. Mõlema rakenduse puhul on oluline pikaealine stabiilsus vähese hoolduse või tootmistsüklite katkestamisega. DPSS laseril on ülistabiilne kitsas joonelaius, lainepikkuse stabiilsus ja võimsuse stabiilsus ning see sobib kahe litograafiameetodi jaoks. Me projekteerime ja toodame suure võimsusega ühesageduslikke lasereid, millel on konkurentsitu lainepikkuse stabiilsus, kitsas joone laius ja väike jalajälg pikkade kuivpikkuste lainepikkuste vahemikus – mistõttu on need ideaalsed integreerimiseks olemasolevatesse süsteemidesse.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies.
Privacy Policy
