Andurite peamine klassifikatsioon:
Eesmärgi järgi
Rõhu- ja jõutundlikud andurid, asendiandurid, tasemeandurid, energiaandurid, kiirusandurid, kiirendusandurid, kiirgusandurid, soojusandurid.
Põhimõtteliselt
Vibratsiooniandur, niiskusandur, magnetandur, gaasiandur, vaakumiandur, biosensor jne.
Vajutage väljundsignaali
Analoogandur: teisendab mõõdetud mitteelektrilise suuruse analoogseks elektriliseks signaaliks.
Digitaalne andur: teisendab mõõdetud mitteelektrilised suurused digitaalseteks väljundsignaalideks (nii otsesteks kui kaudseteks).
Digitaalne andur: teisendab mõõdetud semafori sagedussignaali või lühitsüklisignaali väljundiks (kaasa arvatud otsene või kaudne muundamine).
Lüliti andur: kui mõõdetud signaal jõuab teatud läviväärtuseni, väljastab andur vastavalt seatud madala või kõrge signaali.
Tootmisprotsessi järgi
Integreeritud andurid valmistatakse ränipõhiste pooljuht-integraallülituste tootmiseks standardse protsessitehnoloogia abil.
Osa testitava signaali algseks töötlemiseks kasutatavast vooluringist on samuti tavaliselt integreeritud samale kiibile.
Õhukese kileandur on moodustatud dielektrilisele substraadile (substraadile) kantud vastavast tundlikust materjalist kilest. Kui kasutatakse segamisprotsessi, võib osa vooluringist valmistada ka sellel substraadil.
Paksu kileandur valmistatakse keraamilisele substraadile, mis on tavaliselt valmistatud Al2O3-st, kaetakse vastava materjali suspensioon ja seejärel kuumtöödeldakse paksu kile moodustamiseks.
Keraamilisi andureid toodetakse standardsete keraamiliste protsesside või nende teatud variatsioonide (sool, geel jne) abil.
Pärast vastava ettevalmistustoimingu lõpetamist paagutatakse moodustunud komponent kõrgel temperatuuril. Paksu kile ja keraamiliste andurite kahel protsessil on palju ühiseid omadusi. Mõnes mõttes võib paksu kile protsessi pidada keraamilise protsessi teisendiks.
Igal protsessitehnoloogial on oma eelised ja puudused. Keraamilised ja paksukileandurid on mõistlikumad tänu
